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氦質(zhì)譜檢漏儀，EBARA真空泵，普發(fā)檢漏儀，普發(fā)真空泵，inficon，壓力控制器
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MKS系列產(chǎn)品
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MKS質(zhì)量流量計
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質(zhì)譜分析儀
Micro Vision2 產(chǎn)品的技術(shù)是基于MKS殘余氣體分析質(zhì)譜傳感頭和氣體監(jiān)控系統(tǒng)的核心技術(shù)，利用*先進的射頻電路模塊和數(shù)據(jù)采集電路模塊，具有**的性能，為要求*嚴(yán)格的應(yīng)用所需，雙CPU提供了高穩(wěn)定的運行，快速和寬范圍的動態(tài)掃描，使得工藝偏差和氣體成分改變的監(jiān)測變得很容易及**的通訊功能。靈活的輸入輸出性能，易與機臺和其他傳感器連接。質(zhì)量數(shù)范圍：1-300可選，雙檢測配置。 eVision 2 基于以太網(wǎng)的低成本的殘余氣體分析儀。利用Web瀏覽器或通過EasyView軟件方便地操作系統(tǒng)。質(zhì)量數(shù)范圍：1-200可選，雙檢測器配置可選。
MASS-FLO系列金屬密封質(zhì)量流量控制器
MASS-FLO系列金屬密封質(zhì)量流量控制器
ENI射頻電源阻抗匹配器
ENI射頻電源阻抗匹配器
臭氧發(fā)生器
SEMOZON 臭氧發(fā)生器以及集成系統(tǒng) LIQUOZON Smart臭氧水循環(huán)系統(tǒng)
反應(yīng)氣體發(fā)生器
ASTRON系列遠(yuǎn)程等離子體電源
MKS 質(zhì)量流量計
MKS 質(zhì)量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果 。
DELTA //流量比例控制器
DELTA //流量比例控制器
Tru-Flo質(zhì)量流量檢驗器
Tru-Flo質(zhì)量流量檢驗器
以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器
以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器
MASS-FLO 系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
MASS-FLO系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
MF1系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。
General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 精度為設(shè)定值的正負(fù)1%，響應(yīng)速度快于500毫秒，不同氣體以及量程間自由切換。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字（RS-485，DeviceNet，Profibus）通訊接口可選。
金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
新一代多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 實時高精度流量控制是基于先進的數(shù)字算法技術(shù)，提供精度為設(shè)定值的正負(fù)1%，相應(yīng)速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換的優(yōu)異功能。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字（RS-485，DeviceNet，Modbus/TCP)通訊接口可選。 ALTA 系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器。精度為設(shè)定值的正負(fù)1%，相應(yīng)速度快于1秒，不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數(shù)字（Profibus，DeviceNet）通訊接口可選。
MKS電源-直流/脈沖功率電源
ENI直流/脈沖電源主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，光電器件，磁盤，平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。
MKS電源-射頻功率電源
ENI提供高可靠性的固態(tài)電源，其頻率從2MHz到60MHz，功率從3百瓦到13千瓦，還可選自動頻率跳鞋，廣泛應(yīng)用于Etch，CVD和PVD等工藝。
MKS電源-等離子體電源
ASTeX 遠(yuǎn)程等離子體電源適用于氧氣，氮氣，氫氣，水汽等氣體，廣泛應(yīng)用于CVD，ETCH，去膠等晶圓工藝。
各種真空計
各種真空計
壓力傳感器/質(zhì)量流量控制器電源和顯示儀
壓力傳感器/質(zhì)量流量控制器電源和顯示儀
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真空設(shè)備研發(fā)制造
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